激光清洗機(jī)使用的清洗技術(shù)是利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、銹斑或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離，高速有效地清除清潔對(duì)象表面附著物或表面涂層，從而達(dá)到潔凈的工藝過(guò)程。它是基于激光與物質(zhì)相互作用效應(yīng)的一項(xiàng)新技術(shù)，與傳統(tǒng)的機(jī)械清洗法、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，有明顯的優(yōu)點(diǎn)。它高效、快捷、成本低，對(duì)基片產(chǎn)生的熱負(fù)荷和機(jī)械負(fù)荷小，清洗為非損傷；廢物可回收，無(wú)環(huán)境污染物安全可靠，不損害操作人員健康證可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層次清潔過(guò)程易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離遙控清洗等。

　  與傳統(tǒng)清洗工藝相比，激光清洗機(jī)具有以下特點(diǎn)：

　 （1）它是一種干“干式”清洗，不需要清潔液或其他化學(xué)溶液，且清潔度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于化學(xué)清洗工藝；

　 （2）清洗污物的范圍和適用的基材范圍十分廣泛；

　 （3）通過(guò)調(diào)控激光工藝參數(shù)，可以在不損傷基材表面的基礎(chǔ)啊上，有效去除污染物，是表面復(fù)舊如新；

　 （4）激光清洗可以方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作；

　 （5）激光清洗設(shè)備可以長(zhǎng)期使用，運(yùn)行成本低；

　 （6）激光清洗技術(shù)是一種“綠色”清洗工藝，消除的廢料是固體粉末狀，體積小，易于存放，對(duì)環(huán)境基本上不造成污染。

　 脈沖式的Nd:YAG激光清洗的過(guò)程依賴于激光器所產(chǎn)生的光脈沖的特性，基于由高強(qiáng)度的光束、短脈沖激光及污染層之間的相互作用所導(dǎo)致的光物理反應(yīng)。其物理原理可概括如下：

　 a：激光器發(fā)射的光束被需處理表面上的污染層所吸收。

　 b：大能量的吸收形成急劇膨脹的等離子體（高度電離的不穩(wěn)定氣體），產(chǎn)生沖擊波。

　 c：沖擊波使污染物變成碎片并被剔除。

　 d：光脈沖寬度必須足夠短，以避免使被處理表面遭到破壞的熱積累。

　 e：實(shí)驗(yàn)表明當(dāng)金屬表面上有氧化物時(shí)，等離子體產(chǎn)生于金屬表面。

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